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　　具有良好的节能效果和光学性能。真空磁控溅射法(PVD)也称离线法，可以实现复杂膜系Low-E玻璃的大规模量产，成为近年来Low-E玻璃的主流生产工艺。相比传统的热反射镀膜玻璃，Low-E玻璃的镀膜层数多也更薄，特别是近年来双银/三银Low-E玻璃的推广，有的产品需要沉积多达20多层不同材料的薄膜，这就对每层薄膜的质量和均匀性提出了非常苛刻的要求。如果不能很好的控制单层薄膜的质量和均匀性，这么多层薄膜累加后的颜色、透光率等光学不均匀性就会非常明显。

　　因此对现有的PVD镀膜工艺来说，提高镀膜的质量和均匀性是一个非常关键的课题。工艺气体布气均匀性作为膜层均匀性控制的主要手段之一，工艺气体布气均匀性非常重要。番茄视频app污下载采用如下二种方法确保工艺气体沿玻璃板宽方向分布的均匀性：布气管路分为主管和辅管，主管由3个质量流量计分别控制玻璃番茄视频app软件下载气的供气量，辅管根据阴极宽度分为3～7段，每段由一个质量流量计单独控制工艺气体流量。

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